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      KS-S150
      星型全自動塗膠顯影機

      KS-S150星型全自動塗膠顯影機用於LED-PSS工藝的塗膠顯影製程及化合物半導體的塗膠顯影等製程。可兼容藍寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓,產品涉及多個應用領域,塗膠機產能大於190片/小時。設備通過了CSA認證。
      產品優勢:
      • 1.佔地小、穩定性高、操作與維護方便

        2.產能高,塗膠機產能大於190片/小時

        3.光刻膠用量小,4寸用量0.6ml

        4.優異的流場設計,塗膠均勻性好

      應用領域:

      ●傳感器芯片製造

      ●光通信芯片製造

      ●功率芯片製造

      ●LED芯片製造

      ●圖形化襯底製造

      ●化合物半導體領域

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