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          KS-S150
          星型全自動塗膠顯影機

          KS-S150星型全自動塗膠顯影機用於LED-PSS工藝的塗膠顯影製程及化合物半導體的塗膠顯影等製程。可兼容藍寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓,產品涉及多個應用領域,塗膠機產能大於190片/小時。設備通過了CSA認證。
          產品優勢:
          • 1.佔地小、穩定性高、操作與維護方便

            2.產能高,塗膠機產能大於190片/小時

            3.光刻膠用量小,4寸用量0.6ml

            4.優異的流場設計,塗膠均勻性好

          應用領域:

          ●傳感器芯片製造

          ●光通信芯片製造

          ●功率芯片製造

          ●LED芯片製造

          ●圖形化襯底製造

          ●化合物半導體領域

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