產品優勢:
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1. 旋流式錐形霧化可均勻覆蓋高深寬比臺階的邊緣和底部
2. 旋轉加熱式承片臺有效節省光刻膠
3. 承片臺靜態噴塗規避輕薄襯底碎片風險
4. 噴嘴具備內外自動清洗功能
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