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        KS-C300
        12寸集束型塗膠顯影機

        KS-C300塗膠顯影機可用於高端封裝、 MEMS、OLED等領域的塗覆顯影製程,每小時可加工180片晶片,同時產品可兼容不同材質的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產品可應用於邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED製造等領域。高端國產化集成電路設備的成功應用爲客戶節約了大量成本。產品通過SEMI S2認證。
        產品優勢:
        • 1.適合超薄晶圓處理,超厚膠塗敷、顯影、烘焙工藝

          2.塗膠單元特殊設計,避免高黏度膠離心塗敷時產生的“棉花糖”現象

          3.機臺爲全封閉模塊化結構,工藝單元靈活選配

          4.佔地面積小,產能高

          5.工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板採用漸進式烘焙

        • 6.可滿足工廠自動化需求,無人值守

        應用領域:

        ●高端封裝

        ●OLED 領域

        ●MEMS

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